급성독성 물질 누출 사고사례

재해 개요

2020년 7월 경북 소재 반도체 제조공정에서 작업자 2명이 TCS(트리클로로실란) 약품공급 캐비닛에 사용한 용기교체를 위해 이동식 대차를 사용하여 이송작업하는 과정에 용기가 넘어졌으며, 용기 상부의 배관노즐 접합부가 손상되면서 TCS가 누출되어 근로자 7명이 병원 진료를 받은 사고임

 

 

사고발생물질 특성

■ 사고발생물질

TCS(트리클로로실란)는 산업안전보건기준에 관한 규칙 [별표1]에 따른 급성 독성 물질이며 누출 시 공기 중의 수분과 급격히 반응하여 염화수소를 생성하는 등 유해성이 높은 물질로 알려져 있으며 이와 동시에 인화점이 –27℃로 낮고, 점화에너지 또한 0.017 mJ로 낮은 수준이라서 누출 시 화재‧폭발의 위험도 있는 물질임

 

* “독성물질”이라 함은 섭취, 피부접촉 또는 호흡기를 통하여 유해한 영향을 끼칠 수 있는 급성 독성물질, 호흡기과민성 물질, 흡인유해성 물질, 특정표적장기 독성물질 등을 말한다.

“급성독성 물질”이란 입이나 피부를 통하여 1회 또는 24시간 이내에 수 회로 나누어 투여하거나 4시간 동안 흡입노출시켰을 때 유해한 영향을 일으키는 물질을 말한다.

 

 

■ 염화수소 생성반응

 

SiHCl3 + 2H2O → SiO2 + 3HCl + H2

 

 

 

 

 

사고발생과정 및 원인

1) 사고발생 과정

약품공급 캐비넷에 용기 교체를 위해 작업자 명이 대차를 사용하여 캐비닛으로 상부대차를 밀어 넣는 과정에서 용기가 전도되었고, 충격에 취약한 용기 상부 배관노즐 접합부가 파손되면서 TCS가 누출된 것으로 추정하고 있음

※ 하부 대차는 캐비넷과의 동일한 높이의 구조임

※ 국내 사용빈도가 낮은 일본에서 수입된 용기로 현재 관련 규격 등 확인 중

 

예방대책

1) 용기 캡 사용

밸브 등으로 구성된 이동식 용기의 경우 전도 등으로 인한 파손을 막기 위해서 반드시 용기 캡을 체결한 상태에서 이동시킬 것

 

2) 작업계획 수립

중량물을 취급하는 작업의 경우에는 추락‧낙하‧전도를 대비할 수 있는 작업 계획을 수립하고 작업계획에 의거하여 작업을 실시하여하며, 작업계획 수립 시에는 이동경로 상의 위험요인을 사전에 제거

 

* 관련 법률

제299조(독성이 있는 물질의 누출 방지) 사업주는 급성 독성물질의 누출로 인한 위험을 방지하기 위하여 다음 각 호의 조치를 하여야 한다.

 

1. 사업장 내 급성 독성물질의 저장 및 취급량을 최소화할 것

 

2. 급성 독성물질을 취급 저장하는 설비의 연결 부분은 누출되지 않도록 밀착시키고 매월 1회 이상 연결부분에 이상이 있는지를 점검할 것

 

3. 급성 독성물질을 폐기ㆍ처리하여야 하는 경우에는 냉각ㆍ분리ㆍ흡수ㆍ흡착ㆍ소각 등의 처리공정을 통하여 급성 독성물질이 외부로 방출되지 않도록 할 것

 

4. 급성 독성물질 취급설비의 이상 운전으로 급성 독성물질이 외부로 방출될 경우에는 저장ㆍ포집 또는 처리설비를 설치하여 안전하게 회수할 수 있도록 할 것

 

5. 급성 독성물질을 폐기ㆍ처리 또는 방출하는 설비를 설치하는 경우에는 자동으로 작동될 수 있는 구조로 하거나 원격조정할 수 있는 수동조작구조로 설치할 것

 

6. 급성 독성물질을 취급하는 설비의 작동이 중지된 경우에는 근로자가 쉽게 알 수 있도록 필요한 경보설비를 근로자와 가까운 장소에 설치할 것

 

7. 급성 독성물질이 외부로 누출된 경우에는 감지ㆍ경보할 수 있는 설비를 갖출 것

 

 

Lesson Learned

이번 사고 사례에서 얻을 수 있는 주요 교훈은 다음과 같다. 위험물질 취급 시 용기 이동 및 교체 작업에 대한 철저한 사전 계획과 안전조치가 필요하다는 점이다. 특히 취급 용기의 특성을 면밀히 파악하고, 전도 및 파손 위험을 고려하여 적절한 보호장치(용기 캡 등)를 사용해야 한다. 또한 작업 절차와 이동경로에 대한 철저한 사전 검토를 통해 위험요인을 사전에 제거하고, 작업자의 안전을 최우선으로 하는 작업계획을 수립하는 것이 중요하다. 이를 통해 급성독성 물질 누출로 인한 피해를 예방할 수 있을 것이다.